Isi buku ini sengaja disajikan secara praktis dan lengkap sehingga dapat membantu para siswa, mahasiswa, dosen, guru serta para praktisi industri. Penekanan dan cakupan bidang yang dibahas dalam buku ini sangat membantu dan berperan sebagai sumbangsih pemikiran dalam mendukung pemecahan permasalahan yang muncul pada transistor medan listrik berbasis film tipis, karakterisasi dan aplikasi dalam bidang sensor gas beracun. Oleh karena itu, buku ini disusun secara integratif antar disiplin ilmu yaitu bahan semikonduktor, metode deposisi film tipis, litografi, karakterisasi, elektronika serta aplikasi dalam deteksi gas beracun, sehingga skill yang diperlukan terkait satu dengan lainnya